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가스 공정 장비는 다양한 종류가 있습니다. 이 장비들은 가스의 생산, 처리, 저장, 분배 등에 사용됩니다. 일반적으로 가스 공정 장비는 다음과 같은 주요 카테고리로 나눌 수 있습니다:
- 압축기 (Compressors): 가스를 고압으로 압축하여 파이프라인으로 이동시키는 장비입니다.
- 열교환기 (Heat Exchangers): 가스의 온도를 조절하기 위해 열을 교환하는 장비입니다.
- 분리기 (Separators): 가스와 액체를 분리하거나 가스 내의 불순물을 제거하는 장비입니다.
- 냉각기 (Coolers): 가스를 냉각하여 액화시키거나 온도를 낮추는 장비입니다.
- 흡수탑 (Absorption Towers): 가스 내 특정 성분을 흡수하여 제거하는 장비입니다.
- 탈황기 (Desulfurization Units): 가스 내의 황 성분을 제거하는 장비입니다.
- 저장 탱크 (Storage Tanks): 가스를 저장하는 대형 탱크입니다.
- 제어 시스템 (Control Systems): 가스 공정 전체를 모니터링하고 제어하는 시스템입니다.
건식 세정 (Dry Cleaning)
- 플라즈마 세정기 (Plasma Cleaner)
- 플라즈마를 생성하여 반도체 표면의 오염물질을 제거합니다.
- 플라즈마는 고에너지 이온과 전자를 포함하고 있어, 반도체 표면의 유기물 및 잔여물을 효과적으로 제거할 수 있습니다.
- 플루오린 가스 세정기 (Fluorine Gas Cleaner)
- SF6, CF4 등의 플루오린 가스를 사용하여 실리콘 웨이퍼의 표면을 세정합니다.
- 가스가 화학적으로 반응하여 표면의 불순물을 제거합니다.
화학 산업
- 반응기 (Reactors)
- 화학 반응을 일으키기 위해 가스를 사용.
- 예: 촉매 반응기, 고온 고압 반응기 등.
- 흡수탑 (Absorption Towers)
- 특정 가스를 액체에 흡수시켜 제거.
- 예: SO2 제거를 위한 흡수탑.
- 탈기기 (Degassers)
- 액체에서 용해된 가스를 제거.
- 예: 물에서 산소나 이산화탄소 제거.
석유 및 가스 산업
- 압축기 (Compressors)
- 가스를 고압으로 압축하여 파이프라인으로 이동.
- 예: 천연가스 압축기.
- 탈황기 (Desulfurization Units)
- 가스에서 황 화합물을 제거.
- 예: 천연가스에서 H2S 제거.
- 액화천연가스 (LNG) 장비
- 천연가스를 액화하여 저장 및 운반.
- 예: 냉각기, 액화기 등.
전력 산업
- 가스터빈 (Gas Turbines)
- 천연가스를 연료로 사용하여 전기 생산.
- 예: 발전용 가스터빈.
- 연료전지 (Fuel Cells)
- 수소 등 가스를 이용하여 전기 생산.
- 예: PEM 연료전지, 고체산화물 연료전지(SOFC).
식품 및 음료 산업
- 질소 발생기 (Nitrogen Generators)
- 질소를 생성하여 식품 포장 등에 사용.
- 예: 질소 플러시 패키징.
- 이산화탄소 장비 (CO2 Equipment)
- 탄산음료 제조를 위해 이산화탄소를 용해.
- 예: 탄산화기.
제약 산업
- 가스 크로마토그래피 (Gas Chromatography)
- 화합물의 분리 및 분석.
- 예: 분석용 가스 크로마토그래피 장비.
- 멸균기 (Sterilizers)
- 에틸렌옥사이드(EO) 등을 이용하여 멸균.
- 예: EO 멸균기.
금속 및 재료 산업
- 가스 분위기로 (Gas Furnaces)
- 특정 가스 분위기에서 열처리.
- 예: 수소, 질소 분위기에서의 열처리로.
- 플라즈마 장비 (Plasma Equipment)
- 플라즈마를 이용하여 표면 처리 및 코팅.
- 예: 플라즈마 아크 용접기.
이 외에도 다양한 산업에서 가스 공정 장비가 사용되며, 각 산업의 특성에 맞춘 다양한 장비들이 존재합니다. 구체적인 산업이나 응용 분야에 따라 필요한 장비의 종류와 기능이 달라질 수 있습니다.
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